Hochschulschrift

Herstellung und Charakterisierung von high-k Metal-Gate CMOS-Transistoren

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783954043514
Maße
22 cm
Umfang
VI, 204 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2012

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
CMOS
Inverter
MOS-FET
High-k Metal-Gate-Technik
Prozessentwicklung
Niedrigtemperatur
Elektrische Eigenschaft

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Göttingen
(wer)
Cuvillier
(wann)
2013
Urheber
Biba, Josef

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.01.2025, 14:22 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Biba, Josef
  • Cuvillier

Entstanden

  • 2013

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