Monografie
Analytik von Kontaminationen auf Siliciumoberflächen : Möglichkeiten und Grenzen des VPD-Verfahrens
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2004
- Identifier
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975196367
Thema
Silicium ; Oberfläche ; Kontamination ; Fluorwasserstoff ; Ätzen ; Silicium ; Oberfläche ; Kontamination ; Fluorwasserstoff ; Ätzen; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:57 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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