Hochschulschrift | Online-Publikation
Analytik von Kontaminationen auf Siliciumoberflächen : Möglichkeiten und Grenzen des VPD-Verfahrens
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2004
- Klassifikation
-
Chemie
- Schlagwort
-
Silicium
Oberfläche
Kontamination
Fluorwasserstoff
Ätzen
Silicium ; Oberfläche ; Kontamination ; Fluorwasserstoff ; Ätzen
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hebis:30-0000009402
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:23 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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