Highly Efficient CMOS Compatible Ohmic Contacts for WBG Nitride Power Devices

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Freiberg, Technische Universität Bergakademie Freiberg, Dissertation, 2024

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Galliumnitrid
CMOS
HEMT
Siliciumcarbid
Leistungshalbleiter
Leistungselektronik
Nachhaltigkeit
Energiewende
Halbleiter
CMOS
Schichtwiderstand
Kontaktwiderstand
HEMT
Intermetallische Verbindungen
Titan
Aluminium
Vanadium
Stickstoff
Dünne Schicht
Rauigkeit

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Freiberg
(wer)
Technische Universität Bergakademie Freiberg
(wann)
2025
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:bsz:105-qucosa2-949337
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:39 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2025

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