Hochschulschrift
Modellierung und Simulation eines plasma-ionengestützten Beschichtungsprozesses
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783868446173
- Dimensions
-
21 cm, 210 g
- Extent
-
IV, 140 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2014
- Keyword
-
Ionenstrahlbeschichten
Plasmaabscheidung
Optische Schicht
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:03 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schröder, Benjamin
- Sierke
Time of origin
- 2014
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