Hochschulschrift

Modellierung und Simulation eines plasma-ionengestützten Beschichtungsprozesses

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783868446173
Maße
21 cm, 210 g
Umfang
IV, 140 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2014

Schlagwort
Ionenstrahlbeschichten
Plasmaabscheidung
Optische Schicht

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
[Göttingen]
(wer)
Sierke
(wann)
2014
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:03 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2014

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