Hochschulschrift
Neue Chrom-Silylamide für die CVD-Abscheidung chromhaltiger Dünnfilme
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
V, 127 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1999
- Keyword
-
Chromsilicide
Dünne Schicht
CVD-Verfahren
Chromkomplexe
Silylamide
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:59 AM CET
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Object type
- Hochschulschrift
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