Hochschulschrift

Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
IX, 162 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2004

Erschienen in
Wissenschaftlich-technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf ; 425

Klassifikation
Physik
Schlagwort
Dünne Schicht
Flash-Speicher
Nanostrukturiertes Material
Silicium
Siliciumoxide
Sputtern
Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
FZR
(wann)
2005
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:13 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2005

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