Hochschulschrift
Silizium-Opferschichttechnologie für die Herstellung von Sensoren in Oberflächenmikromechanik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183365098
318336509X
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
X, 150 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 365, Reihe 9
- Schlagwort
-
Sensor
Mikromechanik
Oberflächenmontage
Silicium
Polykristall
Opferschicht
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:52 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Metzger, Lars
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2003
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