Hochschulschrift
Silizium-Opferschichttechnologie für die Herstellung von Sensoren in Oberflächenmikromechanik
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783183365098
318336509X
- Dimensions
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21 cm
- Extent
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X, 150 S.
- Edition
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Als Ms. gedr.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
- Bibliographic citation
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Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 365, Reihe 9
- Keyword
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Sensor
Mikromechanik
Oberflächenmontage
Silicium
Polykristall
Opferschicht
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:25 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Metzger, Lars
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2003