Hochschulschrift

Silizium-Opferschichttechnologie für die Herstellung von Sensoren in Oberflächenmikromechanik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183365098
318336509X
Dimensions
21 cm
Extent
X, 150 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003

Bibliographic citation
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 365, Reihe 9

Keyword
Sensor
Mikromechanik
Oberflächenmontage
Silicium
Polykristall
Opferschicht

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
2003
Creator

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Last update
11.03.2025, 12:25 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2003

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