Hochschulschrift

Silizium-Opferschichttechnologie für die Herstellung von Sensoren in Oberflächenmikromechanik

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183365098
318336509X
Dimensions
21 cm
Extent
X, 150 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003

Bibliographic citation
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 365, Reihe 9

Keyword
Sensor
Mikromechanik
Oberflächenmontage
Silicium
Polykristall
Opferschicht

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
2003
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Last update
11.03.2025, 12:25 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 2003

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