Hochschulschrift
Miniaturisierte korrosionsfeste Gehäuse für Silizium-Drucksensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183878086
3183878089
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XII, 132 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Univ., Diss.
- Erschienen in
-
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 878, Reihe 08
- Schlagwort
-
Halbleiterdrucksensor
Siliciumsensor
Differenzdruckmessung
Gehäuse
Miniaturisierung
Korrosionsbeständigkeit
Halbleiterdrucksensor
Membranverfahren
Technische Membran
Herstellung
Nickel
Galvanische Abscheidung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
2001
- Urheber
-
Hohlfeld, Olaf
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 11.06.2025, 14:16 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hohlfeld, Olaf
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2001
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