- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183534029
3183534029
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XII, 137 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1999
- Bibliographic citation
-
Fortschritt-Berichte VDI / 2 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 534, Reihe 2
- Keyword
-
Wafer
Silicium
Einkristall
Rotationsschleifen
Prozessführung
Wafer
Silicium
Einkristall
Rotationsschleifen
Randschicht
Werkstoffschädigung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
2000
- Creator
-
Lehnicke, Sabine
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:53 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lehnicke, Sabine
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2000
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