Hochschulschrift
Eine Nanopositioniervorrichtung mit integrierten piezoresistiven Sensoren für Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Anwendungen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
- Keyword
-
Positionierantrieb
Nanometerbereich
Integrierter Sensor
Piezowiderstandseffekt
Rastersondenmikroskopie
Zeitauflösung
Hochgeschwindigkeit
Positionierantrieb / Nanometerbereich / Integrierter Sensor / Piezowiderstandseffekt / Rastersondenmikroskopie / Zeitauflösung
Präzisionsmaschine / Messeinrichtung / Positionierantrieb / Nanotechnologie / Konstruktion / Geräteentwicklung / Rastersondenmikroskopie / Hochschulschrift / Online-Publikation
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
Universitätsbibliothek Ilmenau
- (when)
-
2013
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011000543
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:44 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Guliyev, Elshad
- Rangelow, Ivo W.
- Manske, Eberhard
- Lenk, Norbert
- Universitätsbibliothek Ilmenau
Time of origin
- 2013
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