Monografie
Besonderheiten der mechanischen Eigenschaften und der Mikrostruktur dünner, polykristalliner Kupferschichten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2001
- Identifier
-
963941011
Subject
Thermomechanische Eigenschaft ; Mechanische Spannung ; Mikrostruktur ; Silicium ; Substrat ; Kupfer ; Magnetronsputtern ; Dünne Schicht ; Werkstoffprüfung ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Contributor
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:55 PM CET
Object type
- Monografie
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