Hochschulschrift | Online-Publikation
Besonderheiten der mechanischen Eigenschaften und der Mikrostruktur dünner, polykristalliner Kupferschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Kupfer
Dünne Schicht
Thermomechanische Eigenschaft
Mechanische Spannung
Mikrostruktur
Silicium
Substrat
Kupfer
Magnetronsputtern
Dünne Schicht
Werkstoffprüfung
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:swb:105-6523875
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:35 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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