Hochschulschrift
Besonderheiten der mechanischen Eigenschaften und der Mikrostruktur dünner, polykristalliner Kupferschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
31 cm
- Umfang
-
100 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2001 (Nicht für den Austausch)
- Schlagwort
-
Kupfer
Dünne Schicht
Thermomechanische Eigenschaft
Mechanische Spannung
Mikrostruktur
Silicium
Substrat
Kupfer
Magnetronsputtern
Dünne Schicht
Werkstoffprüfung
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:39 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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