Hochschulschrift
Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflaechengeometrie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Karlsruhe, Universität Karlsruhe, Dissertation, 1991
- Bibliographic citation
-
KfK-Berichte ; 4849
- Keyword
-
Mikrostruktur
Mikrosystemtechnik
Messung
Mikroelektronik
Bauelement
Räumliche Anordnung
- URN
-
urn:nbn:de:swb:90-AAA43916
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:56 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Bürg, Bernhard
- KIT-Bibliothek
Time of origin
- 1991
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Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen
Reaktionen von Zellen in dreidimensionalen Mikrostrukturen auf lokale mechanische Stimuli
Modellierung mehrkomponentiger Materialsysteme für die Phasenfeldmethode und Analyse der simulierten Mikrostrukturen
Numerische Ermittlung eines effektiven Elastizitaetstensors und der extremalen Spannungen fuer beliebige Magnetkomposite
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
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