Fundamental Investigations in the Design of Five-Axis Nanopositioning Machines for Measurement and Fabrication Purposes

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2520-8128
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Fundamental Investigations in the Design of Five-Axis Nanopositioning Machines for Measurement and Fabrication Purposes ; volume:4 ; number:3 ; day:20 ; month:4 ; year:2021 ; pages:156-164 ; date:9.2021
Nanomanufacturing and metrology ; 4, Heft 3 (20.4.2021), 156-164, 9.2021

Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1007/s41871-021-00102-w
URN
urn:nbn:de:101:1-2021112706262693222487
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:31 MESZ

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