Hochschulschrift | Online-Publikation
Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Bochum, Univ., Diss., 2002
- Keyword
-
Kohlenstoff
Amorpher Zustand
Wasserstoff
Dünne Schicht
PECVD-Verfahren
Gepulste Gasentladung
Plasmadiagnostik
Schichtwachstum
Elektrooptische Messung
Plasma
Teilchen
Emissionsspektroskopie
Kohlenwasserstoffe
Leitfähigkeit
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-6933
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:55 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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