Hochschulschrift | Online-Publikation
Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Univ., Diss., 2002
- Schlagwort
-
Kohlenstoff
Amorpher Zustand
Wasserstoff
Dünne Schicht
PECVD-Verfahren
Gepulste Gasentladung
Plasmadiagnostik
Schichtwachstum
Elektrooptische Messung
Plasma
Teilchen
Emissionsspektroskopie
Kohlenwasserstoffe
Leitfähigkeit
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-6933
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:55 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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