Hochschulschrift
Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832241643
3832241647
- Dimensions
-
21 cm, 216 gr.
- Extent
-
134 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005
- Bibliographic citation
-
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2005,3
- Classification
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Keyword
-
Silicium
Nanostruktur
Ionenstrahlbearbeitung
Ionenstrahl
Galliumion
Fokussierung
Materialbearbeitung
Ion
Atomion
Ionenstrahl
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:22 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lehrer, Christoph
- Shaker
Time of origin
- 2005
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