Hochschulschrift
Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832241643
3832241647
- Maße
-
21 cm, 216 gr.
- Umfang
-
134 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005
- Erschienen in
-
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2005,3
- Klassifikation
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Schlagwort
-
Silicium
Nanostruktur
Ionenstrahlbearbeitung
Ionenstrahl
Galliumion
Fokussierung
Materialbearbeitung
Ion
Atomion
Ionenstrahl
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:22 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Lehrer, Christoph
- Shaker
Entstanden
- 2005
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