Hochschulschrift
Nasschemische Ätzprozesse zur Mikrostrukturierung des Siliziums für die Mikromechanik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
II, 103 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Kassel, Gesamthochsch., Diss., 1994
- Schlagwort
-
Silicium
Nassätzen
Kaliumhydroxid
Kraftsensor
Rasterkraftmikroskopie
Silicium
Wafer
Plasmaätzen
- Urheber
-
Shi, Feng
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:39 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Shi, Feng
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