Hochschulschrift

MOVPE-Schichten aus III/V-Halbleitern auf (001)-Si-Substraten

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183360055
3183360055
Dimensions
21 cm
Extent
VI, 101 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss.

Bibliographic citation
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 360, Reihe 5

Keyword
Silicium
Halbleitersubstrat
Indiumphosphid
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren
Silicium
Halbleitersubstrat
Galliumarsenid
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
1994
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:37 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 1994

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