Hochschulschrift

MOVPE-Schichten aus III/V-Halbleitern auf (001)-Si-Substraten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183360055
3183360055
Maße
21 cm
Umfang
VI, 101 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss.

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 360, Reihe 5

Schlagwort
Silicium
Halbleitersubstrat
Indiumphosphid
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren
Silicium
Halbleitersubstrat
Galliumarsenid
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1994
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:37 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1994

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