Hybrid Laser-Etching-Process for Wafer Texturingfraunhofer

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
In: 10.1016/j.egypro.2015.07.108

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2015
Urheber
Blattmann, Verena
Trusheim, Daniel

DOI
10.18154/RWTH-2015-06327
URN
urn:nbn:de:101:1-2019051505451205942107
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:58 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Blattmann, Verena
  • Trusheim, Daniel
  • Universitätsbibliothek der RWTH Aachen

Entstanden

  • 2015

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