Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Stuttgart, Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
-
Silane
Plasma
ECR-Heizung
Plasmadiagnostik
Silane
Plasma
ECR-Heizung
Plasmadiagnostik
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:384-opus4-4633
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:46 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Fantz, Ursel
- Universität Augsburg
Entstanden
- 2007
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