Hochschulschrift

In-situ Atomic Layer Deposition growth of Hf-oxide

Weitere Titel
In-situ Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2010

Schlagwort
Atomlagenabscheidung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Cottbus
(wer)
Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
(wann)
2011
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Schmeißer, Dieter

URN
urn:nbn:de:kobv:co1-opus-22617
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:22 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2011

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