Hochschulschrift

Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783931986223
3931986225
Dimensions
21 cm
Extent
177 S.
Edition
1. Aufl.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1996

Keyword
Hartstoff
Beschichtung
PECVD-Verfahren
Metallorganische Verbindungen
Ausgangsmaterial

Event
Veröffentlichung
(where)
Clausthal-Zellerfeld
(who)
Papierflieger
(when)
1996
Creator
Berndt, Harald

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Last update
11.03.2025, 12:26 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Berndt, Harald
  • Papierflieger

Time of origin

  • 1996

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