Hochschulschrift
Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826520648
3826520645
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 192 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996
- Keyword
-
Bariumtitanat
Dünne Schicht
PVD-Verfahren
Excimerlaser
PZT
Dünne Schicht
PVD-Verfahren
Excimerlaser
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:25 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Mertin, Michael
- Shaker
Time of origin
- 1996
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