Hochschulschrift
Funktionale Dünnschichten und deren Anwendung in Hochtemperatur-Drucksensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832291891
- Maße
-
21 cm, 285 gr.
- Umfang
-
XVIII, 167 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2010
- Erschienen in
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 11
- Schlagwort
-
Drucksensor
Herstellung
Dünnschichttechnik
Temperaturbeständigkeit
Hochtemperatur
Drucksensor
Temperaturbeständigkeit
Hochtemperatur
Dünnschichttechnik
Herstellung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:36 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Fricke, Sören
- Shaker
Entstanden
- 2010
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