Monografie
Piezoelektrische Mikromembranaktoren mit einseitiger elektrischer Ansteuerung
- Ausgabe
-
1. Auflage
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
XIV, 158 Seiten
- ISBN
-
978-3-8439-3421-3
- Identifier
-
1148967974
- Reihe
-
Mikrosystemtechnik
Thema
Piezoelektrischer Aktor ; Mikroaktor ; Technische Membran ; Ansteuerung ; Ringelektrode ; Wafer ; Prozessführung ; Verbindungstechnik ; PZT ; Mikroventil ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:49 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Zähringer, Sandy
- Verlag Dr. Hut <München>
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