Hochschulschrift
Investigation of HCl-assisted MOVPE of group III nitrides in a planetary hot-wall system
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Drei-Fünf-Halbleiter , Galliumnitrid , MOCVD-Verfahren , Halbleitertechnologie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen
- (wann)
-
2014
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-50638
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:43 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Fahle, Dirk
- Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen
Entstanden
- 2014
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