Hochschulschrift
Investigation of HCl assisted MOVPE of group III nitrides in a planetary hot wall system
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
II, 133 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014 (Nicht für den Austausch)
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Drei-Fünf-Halbleiter, Galliumnitrid, MOCVD-Verfahren, Halbleitertechnologie
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:57 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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