Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100)
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2024
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Nanostruktur
Nanometerbereich
Rasterkraftmikroskopie
Fertigungsmesstechnik
Nanometerbereich
Nanostruktur
Rasterkraftmikroskopie
Lithografie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
TU Ilmenau
- (when)
-
2024
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2024000062
- Rights
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:50 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Stauffenberg, Jaqueline
- Manske, Eberhard
- Zöllner, Jens-Peter
- Gotszalk, Teodor Pawel
- TU Ilmenau
Time of origin
- 2024
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