Processing and analysis of long-range scans with an atomic force microscope (AFM) in combination with nanopositioning and nanomeasuring technology for defect detection and quality control
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: Sensors(21), H. 17
- Klassifikation
-
Naturwissenschaften
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2021
- Urheber
- DOI
-
10.3390/s21175862
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022032803081177413621
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 15.08.2025, 07:33 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Ortlepp, Ingo
- Stauffenberg, Jaqueline
- Manske, Eberhard
- TU Ilmenau
Entstanden
- 2021
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