Grundlegende Entwicklungen und Untersuchungen zur Mikro- und Nanostrukturierung durch Direct Laser Writing in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2020
- Schlagwort
-
Messmaschine
Sensor
Laser
Strukturierung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2020
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000188
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 11:00 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Kirchner, Johannes
- Manske, Eberhard
- Hausotte, Tino
- Lehmann, Peter
- TU Ilmenau
Entstanden
- 2020
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