Grundlegende Entwicklungen und Untersuchungen zur Mikro- und Nanostrukturierung durch Direct Laser Writing in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2020
- Keyword
-
Messmaschine
Sensor
Laser
Strukturierung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
TU Ilmenau
- (when)
-
2020
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000188
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 11:00 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Kirchner, Johannes
- Manske, Eberhard
- Hausotte, Tino
- Lehmann, Peter
- TU Ilmenau
Time of origin
- 2020
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