Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2024
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Nanostruktur
Nanometerbereich
Rasterkraftmikroskopie
Fertigungsmesstechnik
Nanometerbereich
Nanostruktur
Rasterkraftmikroskopie
Lithografie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2024
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2024000062
- Rechteinformation
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:50 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Stauffenberg, Jaqueline
- Manske, Eberhard
- Zöllner, Jens-Peter
- Gotszalk, Teodor Pawel
- TU Ilmenau
Entstanden
- 2024
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