Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich chemisch mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Schlagwort
-
Matrixanzeige
Lichtmodulator
CMOS
Planartechnik
Chemisches Polieren
Matrixanzeige
Lichtmodulator
Wafer
CMOS
Planartechnik
Chemisches Polieren
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:464-duett-05222001-0931400
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:44 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
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