Hochschulschrift

Fatigue behavior of sub-micron silver and copper films

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Language
Englisch
Notes
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2001

Bibliographic citation
Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung ; Nr. 112

Keyword
Mikrosystemtechnik
Silber
Dünne Schicht
Siliciumdioxid
Materialermüdung
Size-Effekt
Kupfer
Dünne Schicht
Polyimide
Materialermüdung
Werkstoffschädigung
Size-Effekt

Event
Veröffentlichung
(where)
Stuttgart
(who)
Max-Planck-Inst. für Metallforschung
(when)
2002
Creator
Schwaiger, Ruth

URN
urn:nbn:de:bsz:93-opus-10349
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:36 AM CEST

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Schwaiger, Ruth
  • Max-Planck-Inst. für Metallforschung

Time of origin

  • 2002

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