Hochschulschrift
Siliziumnitrid aus Hochfrequenz-Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) für die Niedertemperaturpassivierung von Siliziumoberflächen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826549137
3826549139
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
149 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1998
- Schlagwort
-
Siliciumnitrid
Magnetronsputtern
Silicium
Grenzfläche
Passivierung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:41 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Vetter, Michael
- Shaker
Entstanden
- 1999
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