Hochschulschrift
Simulative und plasmadiagnostische Untersuchungen des Magnetron Sputterns
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844003901
- Maße
-
21 cm, 263 g
- Umfang
-
XVI, 158 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
- Erschienen in
-
Schriftenreihe Oberflächentechnik ; Bd. 21
- Schlagwort
-
Magnetronsputtern
Prozessanalyse
Plasmadiagnostik
Prozesssimulation
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:16 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Parkot, Daniel
- Shaker
Entstanden
- 2011
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