Hochschulschrift
Defect engineering in transition metal based nitride thin films by energetic treatment during deposition
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832542672
3832542671
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XIV, 215 Seiten
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Illustrationen
Technische Universität Bergakademie Freiberg, Dissertation, 2015
- Keyword
-
Übergangsmetallnitride
Dünne Schicht
PVD-Verfahren
Ionenbestrahlung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin
- (who)
-
Logos Verlag
- (when)
-
[2016]
- Creator
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:22 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Wüstefeld, Christina
- Logos Verlag Berlin
- Logos Verlag
Time of origin
- [2016]
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