Hochschulschrift
Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
- Alternative title
-
Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Siegen, Universität Siegen, Dissertation, 2016
- Bibliographic citation
-
Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; 11
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Diamant
Aluminiumnitrid
Dünne Schicht
Sputtern
Rasterkraftmikroskopie
Herstellung
Magnetron
Röntgenfeinstrukturanalyse
Sputtern ; Aluminiumnitrid ; Diamant
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Siegen
- (who)
-
Universitätsbibliothek der Universität Siegen
- (when)
-
2016
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:467-10414
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:56 PM CET
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Vogel, Michael
- Universitätsbibliothek der Universität Siegen
Time of origin
- 2016
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