Hochschulschrift
Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
- Weitere Titel
-
Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Siegen, Universität Siegen, Dissertation, 2016
- Erschienen in
-
Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; 11
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Diamant
Aluminiumnitrid
Dünne Schicht
Sputtern
Rasterkraftmikroskopie
Herstellung
Magnetron
Röntgenfeinstrukturanalyse
Sputtern ; Aluminiumnitrid ; Diamant
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Siegen
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der Universität Siegen
- (wann)
-
2016
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:467-10414
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:56 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Vogel, Michael
- Universitätsbibliothek der Universität Siegen
Entstanden
- 2016
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