Hochschulschrift
Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
140 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2005 (Nicht für den Austausch)
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Oberflächenmessung
Profilmessung
Mikromechanik
Mikroaktor
Sensor-Array
Rasterkraftmikroskopie
Profilmessung
Nanometerbereich
Hochauflösendes Verfahren
Mikroaktor
Sensor-Array
Mikroschaltung
Rasterkraftmikroskopie
Resonanzmethode
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:32 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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