Hochschulschrift
Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2005
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Oberflächenmessung
Profilmessung
Mikromechanik
Mikroaktor
Sensor-Array
Rasterkraftmikroskopie
Profilmessung
Nanometerbereich
Hochauflösendes Verfahren
Mikroaktor
Sensor-Array
Mikroschaltung
Rasterkraftmikroskopie
Resonanzmethode
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:swb:ch1-200500132
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 15.08.2025, 07:24 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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