Hochschulschrift
Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
140 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2005 (Nicht für den Austausch)
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Oberflächenmessung
Profilmessung
Mikromechanik
Mikroaktor
Sensor-Array
Rasterkraftmikroskopie
Profilmessung
Nanometerbereich
Hochauflösendes Verfahren
Mikroaktor
Sensor-Array
Mikroschaltung
Rasterkraftmikroskopie
Resonanzmethode
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:32 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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