Hochschulschrift
Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783941003088
- Language
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Deutsch
- Notes
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Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
- Keyword
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Mehrschichtsystem
Mikromechanik
Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung
Akustische Oberflächenwelle
Oberflächenspektroskopie
Dicke
Elastizitätsmodul
Lichtmodulator
- URN
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urn:nbn:de:bsz:ch1-200901613
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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14.08.2025, 11:02 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Bennis, Abdelali
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2009