Hochschulschrift

Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783941003088
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009

Schlagwort
Mehrschichtsystem
Mikromechanik
Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung
Akustische Oberflächenwelle
Oberflächenspektroskopie
Dicke
Elastizitätsmodul
Lichtmodulator

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2009
Urheber

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-200901613
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 11:02 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2009

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