Hochschulschrift

Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783941003088
Maße
21 cm
Umfang
162 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009

Schlagwort
Mehrschichtsystem
Mikromechanik
Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung
Akustische Oberflächenwelle
Oberflächenspektroskopie
Dicke
Elastizitätsmodul
Lichtmodulator

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2009
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:25 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2009

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