Hochschulschrift

Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783941003088
Language
Deutsch
Notes
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009

Keyword
Mehrschichtsystem
Mikromechanik
Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung
Akustische Oberflächenwelle
Oberflächenspektroskopie
Dicke
Elastizitätsmodul
Lichtmodulator

Event
Veröffentlichung
(where)
Chemnitz
(who)
Univ.-Verl.
(when)
2009
Creator

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-200901613
Rights
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Last update
14.08.2025, 11:02 AM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2009

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