Pyrolytische SiO2-Schichten [SiO-Schichten] für die GaAs-Technologie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
19 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.

Erschienen in
Technischer Bericht ; 46, TBr. 7 : Forschungsgruppe FI 41

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
[Darmstadt]
(wer)
Dt. Bundespost, Forschungsinst. beim FTZ
(wann)
1975
Urheber
Koschig, Wilfried
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:14 MESZ

Datenpartner

Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.

Beteiligte

Entstanden

  • 1975

Ähnliche Objekte (12)