Hochschulschrift
Materialbasierte Modellierung der Genauigkeit mikromechanischer Drucksensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783899597523
- Maße
-
25 cm
- Umfang
-
III, 128 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2008
- Erschienen in
-
MEMS technology and engineering ; Vol. 8
- Schlagwort
-
Halbleiterdrucksensor
Verbindungstechnik
Mikrokleben
Klebeverbindung
Thermomechanische Eigenschaft
Messgenauigkeit
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Tönning, Lübeck, Marburg
- (wer)
-
Der Andere Verl.
- (wann)
-
2008
- Urheber
-
Deier, Erik Julius
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:14 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Deier, Erik Julius
- Der Andere Verl.
Entstanden
- 2008
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